膜技术在纯水制造中的应用
反渗透膜作为纯水机核心部件之一,那么什么行业适用于膜技术制取的纯水呢?今天MG电玩纯水机小编为大家带来了关于反渗透膜的处理技术。
膜技术在纯水制造中的应用于集成电路用高纯水装置,液晶显示器清洗用超纯水系统,微电子行业用工业纯水设备
纯水制造中应用的膜技术主要有电渗析(ED)、反渗透(RO)、纳滤(NF)、超滤(UF)、微滤(MF),其工作原理、作用等见下表。
膜组件名称 |
ED |
RO |
NF |
UF |
MF |
微孔孔径 |
|
5-50埃 |
15-85埃 |
50-1000埃(1μm) |
0.03-100μm |
工作原理 |
离子选择透过性 |
1.优先吸附-毛细管理论 2.氢链理论 3.扩散理论 |
同左 |
滤膜筛滤作用 |
同左 |
作用 |
去除无机盐离子 |
去除无机盐离子,以及有机物、微生物、胶体、热源、病毒等 |
去除二价、三价离子,M>100的有机物,以及微生物、胶体、热源、病毒等 |
去除悬浊物、胶体以及M>6000的有机物 |
去除悬浊物 |
组件形式 |
膜堆式 |
大多为卷式,少量为中空纤维 |
同左 |
大多为中空纤维,少量为卷式 |
摺迭滤筒式 |
工作压力(Mpa) |
0.03-0.3 |
1-4 |
0.5-1.5 |
0.1-0.5 |
0.05-0.5 |
水回收率(%) |
50-80 |
50-75 |
50-85 |
90-95 |
100 |
使用寿命(年) |
3-8 |
3-5 |
3-5 |
3-5 |
3-6个月 |
水站位置 |
除盐工序 |
除盐工序 |
1.除盐工序 2.RO前的软化 |
大多为纯水站终端精处理,少数为RO前的预处理 |
1.RO、NF、UF前的保安过滤(3-10μm) 2.离子交换后滤除树脂碎片(1μm) 3.UV后滤除细菌死体(0.2或 0.45μm) 4.纯水站终端过滤(0.03-0.45μm) |
与传统的水处理技术相比,膜技术具有工艺简单、操作方便、易于自动控制、能耗小、无污染、去除杂质效率高、运行成本低等优点,特别是几种膜技术的配合使用,再辅之以其他水处理工艺,如石英砂过滤、活性炭吸附、脱气、离子交换、UV杀菌等,为去除水中的各种杂质,满足日益发展的电子工业对高纯水的需要,提供了有效而可靠的手段,而且也只有应用了多种膜技术,才能生产出合格、稳定的高纯水,才能生产出大规模、超大规模、甚大规模集成电路 (LSI、VLSI、ULSI),从而使计算机、雷达、通讯、自动控制等现代电子工业的发展和应用得以实现。
值得一提的是:当原水的含盐量大于400mg/L时,纯水制造的除盐工序采用RO-离子交换工艺后,比早先单用离子交换可节约酸、碱约90%左右,使离子交换柱的周期产水量提高10倍左右,事实证明,可以降低纯水制造的运行费用和制水成本,可以减少工人的劳动强度,可以减少对环境的污染,并可使纯水水质得到提高并长期稳定。据统计,在我国电子工业引进的纯水制造系统中,有RO的约占系统总数的90%,有UF的约占20%,有MF的几乎为100%,而ED在我国国产的纯水系统特别是早期投产的纯水系统,以及为数众多的对纯水水质要求不高的一般电子元器件(如电阻、电容、黑白显像管、电子管等)制造厂的纯水系统中占有相当的比例。
微电子工厂纯水站使用膜技术实况
现以某微电子工厂中的某一5T/H纯水站使用海德能膜技术的实况,说明膜技术在电子工业纯水制造中的应用。
1.前级UF
前级UF是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物,降低水的SDI值,确保RO的安全运行。前级UF有8支,进水16m3/h,透过水15m3/h,浓缩水排放,回收率约90%。UF组件为立升公司生产的中空纤维膜。UF前采用5μm保安过滤器。
2.一级RO
水中加入还原剂Na2SO3(加药量为水中余氯值的1.8倍)以防止余氯氧化腐蚀RO膜,加入阻垢剂(加药量为5ppm)以防止CaCO3 、CaSO4等在RO膜上结垢,再经5μm保安过滤器后由高压泵打进一级RO。一级RO有4组,均为2芯装的膜壳。呈(3+1)排列,膜容器由FRP(玻璃钢)制成,每根内装2个RO膜元件,总共为8个RO膜元件,进水16m3/h,透过水8m3/h,浓缩水排放,回收率为50%,脱盐率>90%(初始脱盐率>99%),操作压力1.55Mpa。RO膜元件采用海德能公司生产的芳香聚酰胺复合反渗透膜,膜元件平均脱盐率99.5%。
3.二级RO
一级RO水箱出水中一部分进入A系统,先加NaOH(CP级)调节pH为8.2-8.6,使水中CO2生成HCO3- ,被二级RO除去,以减轻混床离子交换的负担,采用二级RO可以使混床再生周期延长一倍,减少再生酸碱耗量,并可进一步去除TOC和胶体物质。二级RO共5根膜容器,每根容器内装1支RO膜元件,共5支RO膜元件,进水8m3 /h,出水5m3/h,浓水排至超滤水箱,回收率约为70%,脱盐率>70%(初始脱盐率>80%),RO膜元件采用海德能公司反渗透膜,型号与一级RO膜元件相同。
4.微滤
本系统的微滤可分为三类,第一类为前级UF、RO前的保安过滤器,用于去除水中的悬浊物微粒,降低水的SDI值,滤芯为PP(聚丙烯)膜摺迭式滤芯,孔径为5μm或3μm。第二类在离子交换后,用于滤除离子交换树脂碎片,滤芯为PP膜折叠式滤芯,孔径为1μm。第三类在UV杀菌器后,用于滤除微生物尸体,滤芯为折叠式滤芯,孔径为0.45μm或0.22μm--集成电路用高纯水装置,
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