超纯水机管道如果长时间不清洗，会严重影响最终的出水品质问题，长期泡在水中的管道极其容易产生细菌，部分区域还会生长出青苔的物质，如果不及时清理管道内部污染物，时间久了就会对设备产生损坏，所以我们需要及时对超纯水机进行清理。

　　
　　在清洗超纯水管道之前，首先我们需要注意的是清洗超纯水管道一定要采用超纯水设备的产水，也就是超纯水，然后将储罐与一台水泵链接，再和需要清洗的管道进行链接，形成一个循环桐庐，再储罐注入一定量的超纯水用水泵进行循环，十五分钟之后拧开排水阀，一边排放一边循环，可以使用流量计测量。然后用稀释过的氢氧化钠溶剂继续循环冲洗，循环半个小时。

　　
　　第一遍清洗前应在不锈钢滤筒里的安装使用过的微孔滤棒专供清洗使用，清洗完成后正式使用前方更换全新微孔滤棒;纯水超纯水成套设备中的树脂罐严禁与清洗所用的双氧水溶液接触，清洗前树脂罐旁应安装管道旁通。

　　
　　第二、三遍使用双氧水溶液清洗时，每次应使用双氧水溶液在管内循环半小时，然后停止循环关闭供回主管阀门，让溶液在管道中浸泡1小时。

　　
　　第四遍清洗时，应使用冲洗的方式，冲洗时间不少于8小时，边冲边循环边在管道最末端放水。

　　
　　整个清洗过程中，末端用水点进设备处都应先行关闭，同时在最后一遍冲洗时，应将每台设备用水点处进行排放，排放时间不少于0.5小时。

　　
　　双氧水由于能够分解产生O2具有强氧化，能使有机色质褪色，所以具有漂白性，所以在操作过程中皮肤不应长期接触双氧水溶液，最好应戴上橡胶手套操作。