要正确区分超纯水机与纯水机，就需要从超纯水与纯水的本质区别探讨，所谓的超纯水即是：UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。而纯水指的是：不含杂质的H2O，从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水。

超纯水较纯水来说，其本身的纯度属于极为精纯，多到过滤系统使得水中的离子物质、有机物、无机物、微生物等物质含量都降到了极低的程度，纯水则是使用符合生活饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水。

超纯水机是在纯水机上的升华，即超纯水是在纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm极限值。超纯水是一般工艺很难达到的程度，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、EDI技术，离子交换技术中的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水，电阻率可达18.20MΩ*cm。